中芯又能买光刻机的原因!!!!
楼主:乌鸦天上飞飞
时间:2021-03-09 12:36:02
高端光刻机的曝光系统,土八路搞出来了。。。。。。
楼主:乌鸦天上飞飞
时间:2021-03-09 12:36:02
白皮老办法有又了,技术扼杀不行就换市场扼杀,再不行就拖下后腿。
一、1.5米扫描干涉场曝光系统顺利通过验收:
专项研制的仪器设备包括一台1.5米扫描干涉场曝光系统及四台制作全息光栅所需的辅助工艺设备。该项目主要面向高能拍瓦激光输出技术、激光惯性约束核聚变研究及高端光刻机产业等战略高科技领域对大面积全息光栅的迫切需求,研制了1.5米扫描干涉场曝光系统,其目标是具备以步进扫描多线曝光方式制作500mm×1500mm全息光栅的能力。经过7年的攻关,项目组通过解决和突破长程重载工作台超精密定位、曝光干涉场超精密测量及相位锁定等十几项基础问题和关键技术,研制出了拥有制作最大面积650mm×1700mm单体无拼缝全息光栅能力的扫描干涉场曝光系统。该项目的顺利实施与验收,标志着我国具备了独立制作米级单体无拼缝全息光栅的能力,打破了由国外长期垄断的局面,对高能激光、可控核聚变、高端光刻等领域的技术与产业推进具有重大的战略意义。
二、国产12英寸350KG半导体单晶硅炉交付客户使用:
三、国产商用12英寸全自动晶圆探针台:
四、国产光刻机双工件台商用:
五、中国8英寸石墨烯晶片亮相:
六、实验室在利用飞秒激光微纳加工石墨烯材料方面的研究获得新进展:
一、1.5米扫描干涉场曝光系统顺利通过验收:
专项研制的仪器设备包括一台1.5米扫描干涉场曝光系统及四台制作全息光栅所需的辅助工艺设备。该项目主要面向高能拍瓦激光输出技术、激光惯性约束核聚变研究及高端光刻机产业等战略高科技领域对大面积全息光栅的迫切需求,研制了1.5米扫描干涉场曝光系统,其目标是具备以步进扫描多线曝光方式制作500mm×1500mm全息光栅的能力。经过7年的攻关,项目组通过解决和突破长程重载工作台超精密定位、曝光干涉场超精密测量及相位锁定等十几项基础问题和关键技术,研制出了拥有制作最大面积650mm×1700mm单体无拼缝全息光栅能力的扫描干涉场曝光系统。该项目的顺利实施与验收,标志着我国具备了独立制作米级单体无拼缝全息光栅的能力,打破了由国外长期垄断的局面,对高能激光、可控核聚变、高端光刻等领域的技术与产业推进具有重大的战略意义。
二、国产12英寸350KG半导体单晶硅炉交付客户使用:
三、国产商用12英寸全自动晶圆探针台:
四、国产光刻机双工件台商用:
五、中国8英寸石墨烯晶片亮相:
六、实验室在利用飞秒激光微纳加工石墨烯材料方面的研究获得新进展:
楼主:乌鸦天上飞飞
时间:2021-03-09 12:36:02
胡锡进讲得对,凤梨只是小事,莱蛙再不识相的话,将会噩梦连连!!!
楼主:乌鸦天上飞飞
时间:2021-03-09 12:36:02
高端光刻机的核心部件:光源、镜头、光栅、双工作台。
一、中国科学院研制的“大连光源”2017年1月15日发出了世界上最强的极紫外自由电子激光脉冲,单个皮秒激光脉冲产生140万亿个光子,成为世界上最亮且波长完全可调的极紫外自由电子激光光源。
二、镜头,世界光学晶体材料的龙头福晶科技在中国,国内厂家加工精密光学镜头虽说没有德国蔡司那么牛逼,但从“天问一号”拍回的火星高清晰照片来看,加工出高端光刻机所需的光学镜头应该还是能的。
三、长春光机所研制的1.5米扫描干涉场曝光系统,具备以步进扫描多线曝光方式制作500mm×1500mm全息光栅的能力。
四、北京华卓精科其光刻机双工件台打破了ASML公司在工件台上的技术垄断,成为世界上第二家掌握双工件台核心技术的公司。
中国制造高端光刻机的条件已具备,就看什么时候能把实验室搞出来的这些核心部件整合出一台高端光刻机来。
一、中国科学院研制的“大连光源”2017年1月15日发出了世界上最强的极紫外自由电子激光脉冲,单个皮秒激光脉冲产生140万亿个光子,成为世界上最亮且波长完全可调的极紫外自由电子激光光源。
二、镜头,世界光学晶体材料的龙头福晶科技在中国,国内厂家加工精密光学镜头虽说没有德国蔡司那么牛逼,但从“天问一号”拍回的火星高清晰照片来看,加工出高端光刻机所需的光学镜头应该还是能的。
三、长春光机所研制的1.5米扫描干涉场曝光系统,具备以步进扫描多线曝光方式制作500mm×1500mm全息光栅的能力。
四、北京华卓精科其光刻机双工件台打破了ASML公司在工件台上的技术垄断,成为世界上第二家掌握双工件台核心技术的公司。
中国制造高端光刻机的条件已具备,就看什么时候能把实验室搞出来的这些核心部件整合出一台高端光刻机来。
楼主:乌鸦天上飞飞
字数:899字
帖子分类:台湾风云
发表时间:2021-03-08 05:35:59
更新时间:2021-03-09 12:36:02
评论数:48条评论
帖子来源:天涯 访问原帖
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